Локальный Анализ

Локальный Анализ - определение химического состава микрообъемов или тонких слоев твердых тел. Проводят методами электронной микроскопии (в сочетании с рентгеновским спектральным анализом), электронографии, масс-спектрометрии вторичных ионов и др.